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氣相沉積爐的技術特征

時間:2020-12-3 9:44:00 來源:http://www.tangerinelilly.com/news513667.html

氣相沉積爐是我公司多年研發生產的設備,氣相沉積爐是指在高溫下的氣相反應,例如,金屬鹵化物、有機金屬、碳氫化合物等的熱分解,氫還原或使它的混合氣體在高溫下發生化學反應以析出金屬、氧化物、碳化物等無機材料的方法。這種技術較初是作為涂層的手段而開發的,但目前,不只應用于耐熱物質的涂層,而且應用于高純度金屬的精制、粉末合成、半導體薄膜等,是一個頗具特征的技術領域。

咸陽陶瓷研究院銷售的氣相沉積爐其技術特征在于:(1)高熔點物質能夠在低溫下合成;(2)析出物質的形態在單晶、多晶、晶須、粉末、薄膜等多種;(3)不僅可以在基片上進行涂層,而且可以在粉體表面涂層等。特別是在低溫下可以合成高熔點物質,CVD氣相沉積爐在節能方面做出了貢獻,作為一種新技術是大有前途的。


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