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CVD氣相沉積爐

CVD氣相沉積爐

來源:http://www.tangerinelilly.com/product610331.html

時間:2020-8-18 16:09:40

相關標簽:硅碳負極專用設備,CVD氣相沉積爐,

產品詳情

CVD氣相沉積爐為立式真空感應加熱爐,它由爐體、爐蓋、真空系統、電氣系統、加氣系統、和水冷系統等部分組成。爐身采用水冷夾層結構。爐內裝有感應線圈,發熱體也是石墨材料制成石墨坩堝。發熱體外圍是由碳氈組成的保溫裝置和由剛玉組成的隔熱絕緣裝置。測溫元件采用熱電偶,半自動/手動控制爐溫,采用智能型溫度表控溫。

CVD氣相沉積爐技術特征:

CVD氣相沉積爐工作區尺寸可達2.5m×2m×4.5m,能滿足大型工件化學氣相沉積處理需求;

CVD氣相沉積爐采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;

CVD氣相沉積爐采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

CVD氣相沉積爐采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

CVD氣相沉積爐能有效處理生產過程中產生的各種規格雜質。


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