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KY-R-LQC400-6M型CVD爐

KY-R-LQC400-6M型CVD爐

來源:http://www.tangerinelilly.com/product610332.html

時間:2020-8-18 16:10:30

相關標簽:硅碳負極專用設備,KY-R-LQC400-6M型CVD爐,

產品詳情

KY-R-LQC400-6M型CVD爐是一種特殊的高真空CVD系統,是高校、研究所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想設備。設備采用雙層殼體結構,并帶有分冷,使得殼體表面的溫度小于55°C。保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環保節能,減少熱量的損失。同時采用輕質爐膛,熱效率高,能耗低,爐內溫度均勻性好,可延長設備的使用效率。

KY-R-LQC400-6M型CVD爐產品特點

爐內密封性及佳,可通入氮氣、乙炔、甲烷、丙酮等混合氣體。

組合進料方式,進料量精準控制。

配置電子流量計、蠕動泵;爐內溫度、壓力、流量自動控制。

輕質爐膛,熱效率高,能耗低,爐內溫度均勻性好。

PLC全自動控制整套工藝過程,通過觸摸屏操作簡潔直觀。

運行平穩, 宜維護,設備大小可根據需求非標定制。

KY-R-LQC系列連續式CVD爐技術參數

KY-R-LQC系列間歇式CVD爐技術參數



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